文章詳情
半導體行業氣體泄漏檢測
日期：2026-08-23 04:57
瀏覽次數：217
摘要：
晶圓制造過程中需要使用大量的氣體，用于干法刻蝕、氣動機械臂、潔凈室通風等。這些氣體等從無塵室外圍，透過縱橫分布的管道，直接輸送到各類制造設備上。
晶圓廠投入使用6-12個月后，輸送氣體的管道就可能出現老化、泄漏現象。而半導體廠所用的氣體很多是易爆，有毒氣體，每一個微小的泄漏都可能帶來極大的能量、效率損失，甚
至**隱患。因此，對氣體管道進行泄漏點的快速排查即極為重要。
產品推薦
Fluke ii900系列 氣體泄漏測試儀
● 可廣泛用于壓...
晶圓制造過程中需要使用大量的氣體，用于干法刻蝕、氣動機械臂、潔凈室通風等。這些氣體等從無塵室外圍，透過縱橫分布的管道，直接輸送到各類制造設備上。
晶圓廠投入使用6-12個月后，輸送氣體的管道就可能出現老化、泄漏現象。而半導體廠所用的氣體很多是易爆，有毒氣體，每一個微小的泄漏都可能帶來極大的能量、效率損失，甚
至**隱患。因此，對氣體管道進行泄漏點的快速排查即極為重要。
產品推薦
Fluke ii900系列 氣體泄漏測試儀
● 可廣泛用于壓縮氣體泄漏探查、產品的氣密性檢測、及高壓電氣設備的局部放電
● 發現氣動工具壓縮管線泄漏，保證產線穩定運行
● 全廠氣體管道泄漏排查，避免能耗增加，提高生產效益
● 易燃易爆氣體泄漏，實現環境**排查
